SFCV-1501_小型CVD裝置_SATOVAC佐藤真空PHIL
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產(chǎn)品名稱: SFCV-1501_小型CVD裝置_SATOVAC佐藤真空PHIL
產(chǎn)品型號(hào): SFCV-1501
產(chǎn)品廠商:
巖瀨商事
產(chǎn)品文檔: 無(wú)相關(guān)文檔
簡(jiǎn)單介紹
SFCV-1501_小型CVD裝置_SATOVAC佐藤真空PHIL
大學(xué)?研究機(jī)関でグラフェンなど炭化水素系化合物での各種材料開発に適した、管狀爐式の高溫?zé)酑VD裝置です。少量?小サイズのテストピースが簡(jiǎn)単な操作で作れるように小型化し、同時(shí)に大幅なコストダウンを?qū)g現(xiàn)しました。
SFCV-1501_小型CVD裝置_SATOVAC佐藤真空PHIL
的詳細(xì)介紹
SFCV-1501_小型CVD裝置_SATOVAC佐藤真空PHIL
大學(xué)?研究機(jī)関でグラフェンなど炭化水素系化合物での各種材料開発に適した、管狀爐式の高溫?zé)酑VD裝置です。少量?小サイズのテストピースが簡(jiǎn)単な操作で作れるように小型化し、同時(shí)に大幅なコストダウンを?qū)g現(xiàn)しました。
また、従來(lái)小型では困難とされてきた5～100Paでの圧力コントロール機(jī)能を備え、より多様な処理パターンに対応可能としました。さらこ炭化水素系の可燃性ガスに対しては、警報(bào)検出による機(jī)器停止、大気放出ガス希釈ユニットなどの**裝置を備えています。
主仕様
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爐芯管
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透明石英管（加熱溫度100～1000℃）
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アルミナ管（加熱溫度1000～1400℃）
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反応ガス供給
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2～60sccm（水素、メタン、エタン、工チレン、アセチレン、ベンゼン等）
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圧力コントロール
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5～100Pa
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可燃性ガス大気放出対策
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エジェクタにより可燃混合範(fàn)囲以下にエアで希釈排気
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機(jī)器構(gòu)成
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型式
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SFCV-1001
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SFCV-1003
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SFCV-1501
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管狀爐
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爐芯管
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材質(zhì)
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透明石英管
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アルミナ管
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內(nèi)徑
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φ24mm、φ50mm
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φ24mm
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加熱溫度
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常用
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100～1000℃
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500～1400℃
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Max
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1150℃
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1500℃
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加熱域
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1ゾーン
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3ゾーン
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1ゾーン
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ヒータ容量
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1.0kW
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2.4kW
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1.2kW
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真空排気
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油回転真空ポンプ
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排気速度：100～150L/min
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ガス供給
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マスフローコントローラ
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流量：10～100sccm
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ガス管型フローメータ
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ガス希釈
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エアエジェクタ
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エア流量：15Nl/min
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真空計(jì)
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圧力制御
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キャパシタンスマノメータ：0.133～1330Pa,100Pa～133kPa
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大気復(fù)圧
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デジタル連成計(jì)：-100kPa～+100kPa
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制御
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溫度制御
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プログラム制御
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圧力制御
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バルブON/OFF制御
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操作パネル
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各機(jī)器スイッチ、プログラム溫調(diào)計(jì)、真空計(jì)
表示器：溫度、真空度、作動(dòng)機(jī)器ON/OFF、警報(bào)、電源
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電源
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単相
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100V?30A
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100V?50A
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200V?20A
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外形寸法
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Ｗ×Ｄ×Ｈ
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1450×500×1200mm
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質(zhì)量
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125kg
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134kg
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128kg
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系統(tǒng)図
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