HSV-3-30G_真空蒸發(fā)裝置_SATOVAC佐藤真空PHIL
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產(chǎn)品名稱(chēng): HSV-3-30G_真空蒸發(fā)裝置_SATOVAC佐藤真空PHIL
產(chǎn)品型號(hào): HSV-3-30G
產(chǎn)品廠商:
巖瀨商事
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簡(jiǎn)單介紹
HSV-3-30G_真空蒸發(fā)裝置_SATOVAC佐藤真空PHIL
當(dāng)社の蒸著裝置は、大學(xué)などの各研究機(jī)関の実験裝置をはじめ小ロットの生産裝置として*も汎用性の高い裝置として設(shè)計(jì)されています。コンパクトな外観と優(yōu)れた?jī)?nèi)部機(jī)構(gòu)、コントロール系を有し、排気系は、手動(dòng)式及び全自動(dòng)操作が可能です。誘電體膜( 光學(xué)系) から、アルミ、クロムなどの金屬膜を容易に形成し、その応用は広範(fàn)囲です。
HSV-3-30G_真空蒸發(fā)裝置_SATOVAC佐藤真空PHIL
的詳細(xì)介紹
HSV-3-30G_真空蒸發(fā)裝置_SATOVAC佐藤真空PHIL
當(dāng)社の蒸著裝置は、大學(xué)などの各研究機(jī)関の実験裝置をはじめ小ロットの生産裝置として*も汎用性の高い裝置として設(shè)計(jì)されています。コンパクトな外観と優(yōu)れた?jī)?nèi)部機(jī)構(gòu)、コントロール系を有し、排気系は、手動(dòng)式及び全自動(dòng)操作が可能です。誘電體膜( 光學(xué)系) から、アルミ、クロムなどの金屬膜を容易に形成し、その応用は広範(fàn)囲です。他に電子ビーム蒸著及び膜厚モニターによる自動(dòng)蒸著制御タイプ、生産用大型蒸著も製作しております。
主仕様
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型 式
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HSV-3-30G
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HSV-6-40
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HSV-8-50
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到達(dá)圧力
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10-3Pa order
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基板加熱溫度
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無(wú)
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Max 300℃
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蒸発源（電極）
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2対 10V Max150A
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バルブ操作
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手動(dòng)
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自動(dòng)
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手動(dòng)
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自動(dòng)
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手動(dòng)
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排気系
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手動(dòng)
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自動(dòng)
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手動(dòng)
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自動(dòng)
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手動(dòng)
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● 構(gòu) 造
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ベルジャー
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300φ×300H
透明ガラス
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400φ×400H （水冷式）
SUS 304
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500φ×500H （水冷式）
SUS 304
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ベルジャー內(nèi)機(jī)構(gòu)
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シャッター機(jī)構(gòu)、抵抗加熱機(jī)構(gòu)
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回転機(jī)構(gòu)、シャッター機(jī)構(gòu)、加熱ヒーター、抵抗加熱機(jī)構(gòu)
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● 排 気 系
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油拡散ポンプ
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3inches
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6inches
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8inches
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真空ポンプ
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150L/min
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500L/min
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主バルブ
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3inches
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6inches
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8inches
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國(guó)內(nèi)免費(fèi)咨詢(xún)專(zhuān)線：4008-933-365
